Surftest SV-3100系列产品可进行高精度,高水平分析和多功能粗糙度测量
特点
技术参数
X轴
测量范围:100mm
分辨率:0.05um
长度基准:线性编码器
驱动速度:0-80mm/s
测量速度:0.02-5mm/s
倾斜范围:±45°
Z2轴(立柱)
垂直移动:300mm或500mm,动力驱动
分辨率:1um
长度基准:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-20mm/s
检测器
范围/分辨率:800um/0.01um,80um/0.001um,8um/0.0001um(使用测头选件时,最大可达2400um)
检测方法:无轨/有轨测量
测力:4mN或0.75mN
测针针尖:金刚石,90°/5umR(60°/2umR:低测力型)
类型:差动电感式
基座尺寸(WxH):600*450
基座材料:花岗岩
评估能力:FORMTRACEPAK
使用标准:JIS1982/JIS1994/JIS2001/ISO1997/VDA
评价参数:Ra, Rq, Sk, Ku, Rp, Rv, Ry, RyDIN, RzDIN, Rt, Rc, Rz, R3z,
R3y, S, △a, △q, λa, λq, Lo, Ir, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2,
A1, A2, Sm, Pc, HSC, mr, mrd,δc, Vo, Rx, AR, R, NR,
NCRX, CPM, SR, SAR, Wx, AW, W, Wte, NW, SW, SAW
评估轮廓:基本曲线,粗糙度曲线,包络残余线,过滤波形曲线,带通波纹曲线,波纹度曲线,滚环波纹曲线,粗糙度motif
波纹度motif DIN776曲线
分析图表:ADC,BAC1,BAC2,功率谱图,自相关图,倾斜分布图,局部峰值分布图,参数分布图
数据补偿功能:倾斜补偿,R平面(曲面)补偿,椭圆补偿,抛物线补偿,双曲线补偿,二次曲线自动补偿,多项式补偿,
多项式自动补偿
顾虑器:滤波类型2CR-75%,2CR-50%,2CR-75%(相位校正),2CR-50%(相位校正)
截止波长:λc: 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm任意波长
λs: 0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250, 800μm 任意波长
可在0.025至最大移动长度间指定任意长度