Contracer
高精度+高功能+高可操作性=轮廓测量仪
contracer(轮廓测量仪)CV-3200
特点
技术参数
X1 轴
测量范围:100mm
分辨率:0.05um
检测方法:线性编码器
驱动速度:0-80mm/s
测量方向:向前/向后
直线度:0.8um/100mm,以X1轴为水平方向上
指示精度(20℃):±(0.8+0.01L)um,L为驱动长度
倾斜范围:±45°
Z2轴(立柱)
垂直移动:300mm或500mm
分辨率:1um
检测方法:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-30mm/s外加手动
Z1轴(检出器)
测量范围:±30mm
分辨率:0.04um
检测方法:线性编码器
指示精度(20℃):±(1.6+I2HI/100)um,H未水平位置上的测量高度(mm)
测针上/下运作:弧形运动
测针方向:向上/向下
测力:30mN
跟踪角度:向上:77°,向下:83°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针)
测针针尖:半径:25um,硬质合金针尖
基座尺寸(WxH):600*450mm或1000*450mm
基座材料:花岗岩
组合校准规
使用专用校准规,可同时进行设备的Z轴增益,对称及针尖半径的校准